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仪器

Optical Instruments

FIBERPR拥有基础研究领域,光通信,玻璃基板,半导体晶圆等各种解决方案

Photonic Solutions

TM5000

Optical Thickness Measurement System

  • 尺寸小
  • 高精度及稳定性
  • 非接触式测量
  • 高速测量(~1 kHz)
  • 无需定期校准
  • 友好用户操作界面
  • 客户定制选项
  • Description

    TM5000利用光干涉原理用非接触式的方式测量晶圆厚度等形状分析,该设备适用于晶圆品质检查,研发,具有高精度高重复性等优点

    Dimensions

    200mm x 320mm x 85mm (without rubbe cover) / 230mm x 350mm x 100mm (with rubber cover)

    Application

    • 材料 : 硅片. 蓝宝石晶片。 玻璃晶片。二酸化硅素。砷化镓。等等
    • 所属行业:液晶玻璃面板。 玻璃制品。 医用膜。等等
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